用于客戶集成的迷你AFM
客戶集成的理想選擇
自動連續(xù)測量
靈活應對龐大的、沉重的或彎曲的樣品
表面形貌是許多高科技材料表面的重要特性,其可能低至幾納米,表面粗糙度不到一納米。原子力顯微鏡可以在正常環(huán)境條件下輕松分析這些特征。大多數(shù)原子力顯微鏡在它們可以處理的樣品的類型和大小上受到限制。Nanosurf的NaniteAFM是原子力顯微鏡集成市場的解決方案,對樣品尺寸的限制非常小。
NaniteAFM采用針尖掃描內(nèi)置頂視與側(cè)視雙光學輔助系統(tǒng)和一個自動逼近馬達，結構異乎尋常的迷你。它包含了獨立運行原子力顯微鏡測量所需的，為簡單的集成鋪平了道路：您所需要的只是300cm3的空間和安裝NaniteAFM測量頭所需的一個穩(wěn)定的結構。
基于不斷優(yōu)化的易用性而省時
NaniteAFM使用背部燕尾式安裝板,方便快速和可重復安裝。帶有定位槽的探針底座讓您無需在更換探針以后進行繁瑣的激光調(diào)節(jié)，探針定位槽的卓越精度允許在不同位置之間切換,而無需搜索正確的區(qū)域,從而減少了實驗期間的停機時間和處理時間。
具有 2 μm 橫向分辨率的集成頂視圖攝像頭可完美地概覽表面,以定位樣品上感興趣的區(qū)域,并將其放置在微懸臂下。 方便的側(cè)視攝像頭以 45 度角顯示微懸臂下方的樣品。 它引導用戶在開始時快速接近樣本于幾十微米以內(nèi)，然后由 AFM 完成最后的自動趨近。
測量和分析的自動化
為了進一步減少操作人員的時間，NaniteAFM可以操作自動化。通過使用腳本界面和批量測量程序，可以自動接近和測量樣本。 分析和報告生成也可以使用預定義的“通過-失敗”標準進行自動化。這在與電動工作臺結合使用時尤其強大，因此一個或多個樣本的多個區(qū)域可以在沒有操作人員的情況下自動測量。
集成功能使NaniteAFM能夠處理幾乎任何樣品。 大的或重的樣品都沒有問題，因為NaniteAFM在樣品保持原位的時候會移動。根據(jù)樣品類型的不同，掃描頭或樣品或兩者都可以精確移動。 如果您的樣品還沒有一個標準的解決方案，那么我們的一個由工程師和科學家組成的高技能團隊可以幫你設計一個完全滿足您需求的定制解決方案。 甚至不同角度的測量也可以加適當?shù)墓ぷ髋_來進行。
納米級的定量表面分析
NaniteAFM可提供納米級表面信息，是增強成像和分析能力以進行質(zhì)量控制的工具。 它的優(yōu)點是,它同樣適用于不透明和透明的樣品。 因為對后者來說，AFM已成為玻璃表面分析的成熟技術。 有些應用要求玻璃表面的粗糙度遠低于納米,納米大小的缺陷可能會影響工件的行為。 盡管玻璃表面光滑,但玻璃物體可能很大,而且很重,而且不宜從工件中切出樣品進行檢查。 最后,玻璃表面不一定是平坦平行的,例如透鏡。 NaniteAFM 是一種靈活的工具,可以處理所有要求,以獲得玻璃工件的定量表面信息。
在觀察表面形貌的同時，您可以使用 NaniteAFM 可視化其他材料屬性:如果樣品在納米尺度上表現(xiàn)出彈性、粘合或磁性特性的變化,則相位信息可用于觀察尖端-樣品相互作用的不均勻性.對于聚合物樣品, 局部彈性和附著力在靜態(tài)力譜模式下也可以定量映射。
系統(tǒng)參數(shù)
| NaniteAFM 掃描頭規(guī)格 | 110 μm | 70 μm | 25 μm |
|---|---|---|---|
| 最大掃描范圍 (XY)(1) | 110μm | 70 μm | 25μm |
| 最大Z-范圍(1) | 22μm | 14 μm | 5 μm |
| XY-線性平均誤差 | < 0.6% | < 1.2% | < 0.7% |
| Z-測量噪音水平 (RMS, 靜態(tài)模式) | 典型值 350 pm (最大 500 pm) | 典型值 350 pm (最大 500 pm) | 典型值 80 pm (最大 150 pm) |
| Z-測量噪音水平 (RMS, 動態(tài)模式) | 典型值 90 pm (最大 150 pm) | 典型值 90 pm (最大 150 pm) | 典型值 30 pm (最大 50 pm) |
| 安裝 | 掃描頭(86 × 45 × 61 mm)可從3點快速鎖定安裝板上卸下，安裝到 Nanosurf 或客戶端的移動臺上 | ||
| 探針對準 | 探針定位槽自對準 | ||
| 自動逼近范圍 | 4.5 mm (內(nèi)部光學焦平面下方 1.5 mm) | ||
| 樣品觀察 | 雙輔助光學系統(tǒng) (頂視和側(cè)視同步觀察):頂視:五百萬像素彩色攝像頭4× 光學放大 (+軟件數(shù)字變焦)最大視場 ≈ 1.4 mm × 1.1 mm最大分辨率 ≈ 2 μm數(shù)字孔徑 ≈ 0.115側(cè)視:五百萬像素彩色攝像頭 | ||
| 樣品照明 | 白色 LEDs (亮度 0–100%); 用于頂視的軸向照明 | ||
| (1) 110-μm 掃描頭的制造公差是 ±10%， 70- and 25-μm 掃描頭的制造公差是±15 % (2) 45° 掃描旋轉(zhuǎn)時達最大掃描范圍 | |||
| C3000 控制器 — 核心硬件規(guī)格 | |
|---|---|
| X/Y/Z-軸掃描和定位控制器 | 3× 24-bit DAC (200 kHz) |
| X/Y/Z-軸位置測量 | 3× 24-bit ADC (200 kHz) |
| 激勵和調(diào)制輸出 | 4× 16-bit DAC (20 MHz) |
| 模擬信號輸入帶寬 | 0–5 MHz |
| 主輸入信號捕獲 | 2× 16-bit ADC (20 MHz) 2× 24-bit ADC (200 kHz) |
| 附加用戶信號輸出 | 3× 24-bit DAC (200 kHz) |
| 附加用戶信號輸入 | 3× 24-bit ADC (200 kHz) |
| 附加顯示器信號輸出 | 2× 24-bit ADC (200 kHz) |
| 數(shù)字同步 | 2× 數(shù)字輸出, 2× 數(shù)字輸入, 2× I2C 總線 |
| FPGA 模塊和嵌入式處理器 | ALTERA FPGA, 32-bit NIOS-CPU, 80 MHz, 256 MB 內(nèi)存, 多任務操作系統(tǒng) |
| 通訊 | USB 2.0 高速連接于 PC 機和掃描頭接口 |
| 系統(tǒng)時鐘 | 內(nèi)部夸脫 (10 MHz) 或 外部時鐘 |
| 電源 | 90–240 V AC, 70 W, 50/60Hz |
掃描頭尺寸
附加選項和組件
快速鎖定安裝板
NaniteAFM的燕尾安裝板是將 AFM 集成到您的設置中的方便法門。 它配備了快速鎖,用于快速組裝和可重復安裝。
樣品臺 204
尺寸: 139,1 mm (h) x 204 mm (w) x 204 mm (d)
承載NaniteAFM掃描頭的樣品臺，安裝在一個隔離震動裝置臺上。
隔離振動臺 300
使用Nanosurf 隔離振動臺達到無振測量
XY 微米移動臺
手動移動臺，與Nanite樣品臺配套使用
行程距離: 13 mm
XY 分辨率: <0.5μm
ATS 2032 電動 XYZ 移動臺
ATS 2032電動XYZ移動臺是為直徑可達8英寸的晶圓片和高度可達60毫米的普通AFM樣品上的連續(xù)測量而構建的。 它具有在所有方向的精準移動和磁鐵以保持金屬樣品的歸位。
| 規(guī)范 | 參數(shù) |
|---|---|
| 最大行程 XYZ: | 205 mm; 245 mm; 70 mm |
| 行程步長 XYZ | 50–1000 nm |
| 分辨率 XYZ | 0.3 μm |
| 重新定位精度 | σ = 1 μm |
| 絕對精度 | ± 20 μm |
| 最大速度: | 13 mm/s |
| 樣品平臺尺寸 | 205 × 205 mm |
| 樣品尺寸 | 最大. ? 8" × 60 mm |
| 移動轉(zhuǎn)換臺尺寸 | 510 × 500 × 260 mm |
| 移動轉(zhuǎn)換平臺重量 | 65 kg |
| 移動轉(zhuǎn)換平臺技術 | 壓電粘滑電機 |
ATS 204 自動平移臺
對于較小的樣品和行程范圍，Nanosurf 也開發(fā)了適合于 NaniteAFM 的 ATS 204 自動平移臺。 此緊湊型平移臺與 Nanosurf 振動隔離座完全兼容,可以看作是自動批量測量的簡單起始配置。 ATS 204 通過方便的 Nanosurf 平臺控制單元和 Nanosurf 批測量管理器(集成在Nanosurf 控制軟件中)進行控制,便于操作、編程和測量執(zhí)行。 對于通常耗時和重復性的任務,無需在場或監(jiān)督。 
| 規(guī)格 | 參數(shù) |
|---|---|
| 最大行程范圍XYZ | 32 mm; 32 mm; 5 mm |
| 額外手動 Z 調(diào)節(jié) | 30 mm |
| 行程步長 XYZ | 50–1000 nm |
| 分辨率 XYZ | 0.1 μm |
| 重新定位精度 | σ = 1 μm |
| 絕對精度 | ± 10 μm |
| 最大速度 | 13 mm/s |
| 樣品平臺尺寸 | 36 × 36 mm |
| 樣品重量 | max. 200 g |
| 移動轉(zhuǎn)換平臺尺寸 | 204 × 204 × 240 mm |
| 移動轉(zhuǎn)換平臺重量 | 5 kg |
| 移動轉(zhuǎn)換平臺技術 | 壓電粘滑電機 |